接觸式靜電壓測試儀是一臺高阻抗輸入，低容抗輸入的數(shù)字測量儀，真實測量靜電電壓，有體積小，攜帶方便和電池供電的特點。作為一臺真實，實時測量靜電電壓的測量儀，它與靜電場測量計明顯的區(qū)別就是它的測量與靜電場強度無關。儀器是集高輸入阻抗、低輸入電容特點于一體的易于使用的數(shù)字式電壓表。測量施加電壓的兩板上的靜電力的大小或由該靜電力產生的某一極板的偏移（或偏轉）該靜電力產生的某一極板的偏移（或偏轉）來放映所加電壓的大小的表計。用于測量用于電力系統(tǒng)及電氣、電子設備制造部門測量工頻交流高電壓和直流高電壓。測量工頻高電壓時，測得的是電壓的有效值。如靜電計的測量精度高些，但只能適用于測量金屬體的靜電電壓或電位。
接觸式靜電壓測試儀是專為尋找和詳細分析生產制造過程中的ESD問題及其根源而設計的。它可以直接測量導體的靜電壓而不會產生ESD事件和對器件造成損壞級別的射頻干擾(RFI).此儀器適用于測量電子配件或部件的導體部分,從而進行分析,或預測可能的CDM失效問題.它也可以用于測量生產過程中的導體材料或材質物體或設備的靜電壓,以避免對ESD敏感器件產生MM失效問題。
接觸式靜電壓測試儀測試中的注意事項：
測試過程中，一般情況下，不能直接對芯片進行靜電放電。如有特殊需要，一定要對某芯片進行靜電放電測試時，應盡量減小每次靜電增加的幅度，這樣可以更好的測試出防靜電電壓真實值的接近值，使測試更加準確。
測試過程中，為保障測試結果的準確性，每次靜電放電結束后到下次靜電放電開始前的時間間隔不能太小，要留給系統(tǒng)足夠的恢復時間，即要留夠系統(tǒng)電荷釋放的時間，時間間隔一般為10秒鐘。待系統(tǒng)電荷充分釋放后,才能進行下一次測試。
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